2019年4月29日 星期一

石英儀器知識之石英坩堝的苛刻要求



  石英儀器大家都見過,其中石英坩堝石英是最有名的。石英坩堝先開啟循環水,看各冷卻水管冷卻水是否正常,每台主機設備的循環水壓力在0、2MPa左右,水壓不能過低或過高,水壓過低循環水的水量不夠,實驗室淨化設備冷卻不好,溫度過高可能燒損設備;石英深加工

  1、陶瓷使用90微米鋼線切割硅片開創了線切領域的先河,每年可多創造利潤近千萬元;在業內率先實現了100微米鋼線切割多晶片技術;自產塗層石英坩堝使拉晶成品率提高了。

  2、石英坩石英管堝是拉制單晶硅的消耗性器皿,每生產一爐單晶硅就用掉一只石英坩堝,因為單晶硅是生產大規模集成電路和太陽能電池的主要原料,所以石英舟對石英坩堝的要求十分苛刻,按照使用範圍不同,石英坩堝可分為:太陽能級硅單晶坩堝和集成電路級硅單坩堝。

  3、水壓過高使主機設備的冷卻部位的水壓太大,會使冷卻部位爆開漏水;循環開啟十五分鐘後,方可進行下一操作;(門板冷卻水不要大,有水流既可,方水板,電極板,銅電極,立板冷卻水開一半既可,水冷套,真空泵和遮熱板水量要大)。

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